特徴：
CV300のチャンバーをウエハ用にリサイズ。ダイヤフラム方式の柔らかな加圧で、数十umオーダーの極薄ウエハにラミネート可能。ダイシングフレーム付きウエハの処理にも対応しています。

装置構成：
キャリアフィルムによる基板搬送ユニット（フィルム巻き出し）
ダイヤフラム式ラミネータ
キャリアフィルムによる基板搬送ユニット(フィルム巻き取り)

ラミネーション方式：ダイヤフラム式

寸法：(L)3717mm x  (w) 2530mm x ()2120mm

許容ワークサイズ： MAX350 x 350(mm)
※特殊サイズの製作はご相談ください

ユティリティ：
圧縮空気（0.5～0.6MPa）
排気（強制排気であること）
電源 3相 220V
※真空ポンプの種類により、冷水が必要になる場合がございます。

その他特記事項：使用にあたり、PETキャリアフィルムが必要です。
※弊社にて販売しております。お気軽にお問い合わせください。