2-stage 型 真空ラミネータ

特徴:
ダイヤフラム式ラミネータに平坦化プレスを加えた全自動型ラミネータです。ダイヤフラムによる張り合わせに加え、2ndstageにより樹脂を平坦化できます。平滑性が求められるビルドアッププロセス,最外層絶縁膜の形成に最適です。


装置構成:
キャリアフィルムによる基板搬送ユニット(フィルム巻き出し)
ダイヤフラム式ラミネータ(1st Stage)
高平滑SUSによる平坦化プレス(2nd Stage)
キャリアフィルムによる基板搬送ユニット(フィルム巻き取り)

ラミネーション方式:ダイヤフラム方式

寸法: (L) 4135mm x (w)3180mm x (h)1935mm

許容ワークサイズ: MAX510 x 610(mm)
※特殊サイズの製作はご相談ください

ユティリティ:
圧縮空気(0.5~0.6MPa)
排気(強制排気であること)
冷水: 2~3L/Min
電源 3相 220V

その他特記事項:使用にあたり、PETキャリアフィルムが必要です。
※弊社にて販売しております。お気軽にお問い合わせください。